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XBC电池激光开槽设备

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XBC电池激光开槽设备


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产品描述

XBC 电池激光工艺主要采用光斑整形后的超快激光对各类掩膜层进行高速精密蚀刻,对基底损伤小,实现背接触电池(XBC)的图形化生产,实现光刻技术的完美替代,助力实现低成本背接触电池产业化。
 

核心优势

•光斑匀化整形技术,光斑尺寸支持定制,可满足不同工艺需求
•自研软件控制系统配合高精度CCD视觉系统,实现高精度开膜效果
•可配置多种在线监测功能,确保生产效率高效稳定

主要参数

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